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Acoustics
for the Semiconductor Industry
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In this section of the site, you will find interesting information about acoustics (and more particularly megasonics) in the semiconductor industry : |
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| some
basic technical knowledge about megasonics graphs presenting cleaning results of the TechSonic megasonic modules some explanations of the megasonic cleaning phenomena many useful links leading to interesting documents related to Megasonics |
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Megasonic tank : without megasonic
activation (left) and with megasonic activation (right)
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